Zusammenfassung
Was haben Halbleitertechnologie und Prozeßtechnik miteinander zu tun? Nun, die Mikroelektronik hat als Innovationsauslöser weite Bereiche der Gerätetechnik beeinflußt, es besteht eine wechselseitige Abhängigkeit, die besonders in der Computertechnik zum Ausdruck kommt. Moderne Großcomputer wären ohne die heutige Halbleiter-Technologie überhaupt nicht denkbar und in gleicher Weise ist die heutige Halbleiter-Technologie von den prozeßbeeinflussenden Steuerungscomputern in einer Weise abhängig, daß ohne diese komplexe Halbleiter gar nicht hergestellt werden könnten. Ebenso wird der Fortschritt von Prozeßtechniken wiederum mit den Fortschritten auf dem Gebiet der Halbleiter-Technologien gekoppelt sein. Auch hier besteht eine starke Wechselbeziehung.
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Lohmann, F.A. (1981). Größtintegration in der Bauelementetechnologie und deren Auswirkungen auf die Prozeßtechnik. In: Baumann, R. (eds) Fachtagung Prozeßrechner 1981. Informatik-Fachberichte, vol 39. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-67977-3_3
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