Zusammenfassung
Im Rahmen des Arbeitsschwerpunktes Mikrotechnik werden im Kernforschungszentrum Karlsruhe (KfK) Prozeßtechniken zur Herstellung von mechanischen Mikrostrukturen entwickelt, die durch ihr außerordentlich hohes Aspektverhältnis, das Verhältnis von Strukturwandhöhe zu Strukturwandbreite, stabile Strukturen im mikroskopischen Bereich ermöglichen. Mit dem sog. LIGA-Verfahren (Li thographie, G alvanik, A bformung) können Strukturen im Mikrometerbereich mit einem Aspektverhältnis bis zu 100 und Abweichungen in der Strukturwanddicke im Submikrometerbereich hergestellt werden. Dabei sind beliebige Geometrien realisierbar [Becker85]. Beschleunigungssensoren, optische Multiplexer, hochpräzise Düsen, Mikrostecker oder Filter (Abb. 1) sind eine kleine Auswahl möglicher Kandidaten für die Fertigung mit dem LIGA-Verfahren.
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Literaturhinweise
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B. Bürg, B. Deiß, U. Klein, D.Schmidt: Entwurf einer Testmaske für Untersuchungen zur automatischen Kontrolle von Mikrostrukturen mittels digitaler Bildverarbeitung. Unveröffentlichter Bericht, Kernforschungszentrum Karlsruhe (1987).
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Bürg, B., Guth, H., Hellmann, A. (1989). Bildanalytische Qualitätskontrolle in der Mikrofertigung. In: Burkhardt, H., Höhne, K.H., Neumann, B. (eds) Mustererkennung 1989. Informatik-Fachberichte, vol 219. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-75102-8_22
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