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Information als Produktionsfaktor pp 714–721Cite as

Einsatz wissensbasierter Methoden für Konstruktion, Fertigung und Test von LIGA-Mikrostrukturen

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Part of the book series: Informatik aktuell ((INFORMAT))

Zusammenfassung

Durch Lithographie, Galvanoformung und Abformung (LIGA-Verfahren)/7, 11, 12, 13, 14, 15, 16/entstehen dreidimensionale Mikrostrukturen aus Metall, Kunststoff und Keramik. Das am Kernforschungszentrum Karlsruhe entwickelte LIGA-Verfahren eröffnet für eine zukünftige Mikrosystemtechnik (Verknüpfung von Komponenten aus der Mikromechanik, der Mikrooptik sowie der Mikroelektronik zu intelligenten Systemen) völlig neue Perspektiven in den unterschiedlichsten Anwendungsfeldern (z. B. Medizintechnik, Nachrichtentechnik, Automobiltechnik).

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Authors and Affiliations

  1. Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH Institut für Angewandte Informatik, Postfach 3640, 7500, Karlsruhe 1, Deutschland

    I. Brauch, H. Eggert, K. P. Scherer & P. Stiller

Authors
  1. I. Brauch
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  2. H. Eggert
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  3. K. P. Scherer
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  4. P. Stiller
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Editors and Affiliations

  1. Institut fü Rechnerentwurf und Fehlertoleranz, Universität Karlsruhe, Postfach 6980, W-7500, Karlsruhe 1, Germany

    Winfried Görke

  2. Hauptabteilung Ingenieurtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Postfach 3640, W-7500, Karlsruhe 1, Germany

    Hermann Rininsland

  3. Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Leonrodstraße 54, W-8000, München 19, Germany

    Max Syrbe

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© 1992 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Brauch, I., Eggert, H., Scherer, K.P., Stiller, P. (1992). Einsatz wissensbasierter Methoden für Konstruktion, Fertigung und Test von LIGA-Mikrostrukturen. In: Görke, W., Rininsland, H., Syrbe, M. (eds) Information als Produktionsfaktor. Informatik aktuell. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-77810-0_69

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-77810-0_69

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-55960-3

  • Online ISBN: 978-3-642-77810-0

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