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Parametererregte mikroelektromechanische Systeme (MEMS)

Parametrically excited microelectromechanical systems (MEMS)

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e & i Elektrotechnik und Informationstechnik Aims and scope Submit manuscript

Zusammenfassung

Vier parametererregte mikroelektromechanische Systeme aus der Literatur werden vorgestellt und verglichen. Es wird gezeigt, dass sich die Bewegungsgleichungen der verschiedenen betrachteten parametererregten mikroelektromechanischen Einfreiheitsgradsysteme generalisieren lassen. Die Lösungen dieser generalisierten nichtlinearen Bewegungsgleichung werden dargestellt und diskutiert. Es werden Prinzipien parametererregter Systeme herausgearbeitet und aufgezeigt, wie in den gebrachten Beispielen verschiedene Besonderheiten parametererregter Systeme genutzt werden, um konventionelle Systeme an Wirkung zu übertreffen.

Abstract

Four examples of parametrically excited microelectromechanical systems from literature are presented and compared. The equations of motion of the studied examples are generalized. The solutions of this generalized non-linear equation of motion are presented and discussed. Principles of parametrically excited systems are examined. It is demonstrated how in the given examples different characteristics of parametrically excited systems are employed to outperform conventional systems.

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Abb. 7.
Abb. 8.

Notes

  1. Gleichungen (4b)–(4d) stimmen mit denen aus [9] überein. Hier wurde allerdings eine andere Parametrisierung gewählt.

  2. Die Herleitung der Bewegungsgleichung kann ganz analog zu der des invertierten Pendels, dem Lehrbuchklassiker zu PE, ausgeführt werden.

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Danksagung

Die Autoren möchten der University of Auckland, insbesondere Prof. B. Mace und Dr. R. Halkyard, für ihre Gastfreundlichkeit und tatkräftige Unterstützung danken. Diese Veröffentlichung entstand im Zuge eines Aufenthaltes des Erstautors am Department of Mechanical Engineering, University of Auckland, Neuseeland.

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Authors and Affiliations

  1. Institut für Mechanik und Mechatronik, Technische Universität Wien, Getreidemarkt 9, 1060, Wien, Österreich

    Till Jochen Kniffka & Horst Ecker

Authors
  1. Till Jochen Kniffka
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  2. Horst Ecker
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Corresponding author

Correspondence to Till Jochen Kniffka.

Additional information

Diese Veröffentlichung wurde ermöglicht durch eine Förderung im Rahmen eines Jahresstipendiums für Doktorandinnen und Doktoranden des Deutschen Akademischen Austauschdienstes und eines Marietta Blau-Stipendiums des BMWFW der Republik Österreich für den Erstautor.

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Cite this article

Kniffka, T.J., Ecker, H. Parametererregte mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Elektrotech. Inftech. 132, 456–461 (2015). https://doi.org/10.1007/s00502-015-0372-8

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