Zusammenfassung
Organische elektronische Bauelemente wie z. B. Dünnfilmtransistoren werden üblicherweise durch thermische Verdampfung organischer Halbleitermaterialien aus einer Effusionszelle im Hochvakuum hergestellt. In der vorliegenden Arbeit wird ein mathematisches Modell einer Beschichtungsanlage entwickelt, welches das instationäre Verdampfungsverhalten der Halbleiter, das thermische Verhalten der Effusionszelle sowie das Wachstum dünner Schichten beschreibt. Das Modell soll als Grundlage für modellbasierte Reglerentwürfe dienen.
Abstract
Organic electronic devices such as thin film transistors are usually manufactured by thermal evaporation of organic semiconductors out of an effusion cell under high vacuum conditions. In the present work a mathematical model of a coating plant is developed. It covers the transient evaporation of the organic semiconductors as well as the thermal behaviour of the evaporation cell and the growth of thin films. The model is intended to serve as a basis for model based controller designs.
About the authors
Dipl.-Ing. Dr. Martin Steinberger ist Projektassistent am Lehrstuhl für Regelungstechnik und Mechatronische Systeme am Institut für Intelligente Systemtechnologien der Alpen-Adria Universität Klagenfurt. Hauptarbeitsgebiet: Modellierung und Regelung von Prozessen zur Herstellung dünner organischer Schichten.
Alpen-Adria Universität Klagenfurt, Institut für Intelligente Systemtechnologien, Lehrstuhl für Regelungstechnik und Mechatronische Systeme, Universitätsstraße 65-67, A-9020 Klagenfurt
Univ.-Prof. Dipl.-Ing. Dr. Martin Horn ist Leiter des Lehrstuhls für Regelungstechnik und Mechatronische Systeme am Institut für Intelligente Systemtechnologien der Alpen-Adria Universität Klagenfurt. Hauptarbeitsgebiete: Automotive Regelungssysteme, Modellierung, Simulation und Regelung mechatronischer Systeme.
Alpen-Adria Universität Klagenfurt, Institut für Intelligente Systemtechnologien, Lehrstuhl für Regelungstechnik und Mechatronische Systeme, Universitätsstraße 65-67, A-9020 Klagenfurt
Dipl.-Ing. Dr. Georg Jakopič ist stellvertretender Institutsdirektor am Institut für Oberflächentechnologien und Photonik der Joanne um Research Forschungsgesellschaft mbH. Hauptarbeitsgebiete: Optische Dünnschichtanalytik (spektroskopische Ellipsometrie, Spektrophotometrie), optisch basierte Sensorik, organische Elektronik und Optoelektronik.
Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH, Institut für Oberflächentechnologien und Photonik, Franz-Pichler-Straße 30, A-8160 Weiz
© 2013 by Walter de Gruyter Berlin Boston
