Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz

Th. Geßner; W. Seckel; G. Herrmann; R. Streiter

doi:10.1524/itit.2001.43.5.282

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Geßner, Th., Seckel, W., Herrmann, G. and Streiter, R.. "Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz" it - Information Technology, vol. 43, no. 5, 2001, pp. 282-284. https://doi.org/10.1524/itit.2001.43.5.282

Geßner, T., Seckel, W., Herrmann, G. & Streiter, R. (2001). Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz. it - Information Technology, 43(5), 282-284. https://doi.org/10.1524/itit.2001.43.5.282

Geßner, T., Seckel, W., Herrmann, G. and Streiter, R. (2001) Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz. it - Information Technology, Vol. 43 (Issue 5), pp. 282-284. https://doi.org/10.1524/itit.2001.43.5.282

Geßner, Th., Seckel, W., Herrmann, G. and Streiter, R.. "Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz" it - Information Technology 43, no. 5 (2001): 282-284. https://doi.org/10.1524/itit.2001.43.5.282

Geßner T, Seckel W, Herrmann G, Streiter R. Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz. it - Information Technology. 2001;43(5): 282-284. https://doi.org/10.1524/itit.2001.43.5.282

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